[发明专利]基板位置对准器

摘要

一种基板位置对准器包括基板保持组件、多个辊、旋转机构及传感器。基板保持组件被配置成将基板保持在竖直方向上。所述多个辊包括至少两个惰轮辊及驱动辊。各辊具有在该辊的周边上的点，该点与基板旋转中心间隔公共半径，该基板旋转中心界定于该基板保持组件内部。传感器大约定位于公共半径上，且该传感器被配置成当定向切口未被定向在与水平方向所成的约‑44度与约+44度之间的范围内时检测基板中定向切口的存在。一种对准具有定向切口的基板的方法包括以下步骤：当定向切口未被定向于以上所述的范围内时，感测该定向切口的存在。

主权项

1.一种基板位置对准器，所述基板位置对准器包括：基板保持组件，所述基板保持组件被配置成将基板保持在竖直方向上；多个辊，所述多个辊包括至少两个惰轮辊及驱动辊，各辊具有在所述辊的周边上的点，所述点与基板旋转中心间隔公共半径，所述基板旋转中心界定于所述基板保持组件内部，其中所述基板定位在所述驱动辊和惰轮辊上；旋转机构，所述旋转机构被配置成有选择地旋转所述驱动辊；及至少一个传感器，所述传感器大约定位于所述公共半径上，且所述传感器被配置成当定向切口未被定向在与水平方向所成的‑44度与+44度之间的范围内时检测所述基板中所述定向切口的存在，其中所述定向切口用于防止所述基板与所述驱动辊接触，以中断所述基板的旋转并将所述基板定位于切口向下的方向。