[发明专利]掩模检测系统的照明光学单元和具有这种照明光学单元的掩模检测系统在审
| 申请号： | 201480013545.4 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN105190777A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | M.德冈瑟;T.科布 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G21K7/00 | 分类号： | G21K7/00;G03F1/84;G21K1/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种掩模检测系统的照明光学单元(1)，用于EUV光(2)下。照明光学单元(1)的中空波导(9)用于引导照明光(2)。中空波导(9)具有照明光(2)的入射开口(7)和照明光(2)的出射开口(10)。成像反射镜光学单元(11)设置在中空波导(9)的下游，用于将出射开口(10)成像于照明场(4)中。这导致通量针对EUV照明光优化的照明光学单元。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 照明 光学 单元 具有 这种 | ||
【主权项】：
一种在EUV照明光(2)下使用的掩模检测系统(5)的照明光学单元(1)，‑包括引导所述照明光的中空波导(9)，所述中空波导包括所述照明光(2)的入射开口(7)和所述照明光(2)的出射开口(10)，‑包括成像反射镜光学单元(11)，布置在所述中空波导(9)的下游，将所述出射开口(10)成像于照明场(4)中。
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