[发明专利]光子装置结构及制造方法有效
| 申请号： | 201480010389.6 | 申请日： | 2014-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN105026966B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 古尔特杰·桑胡;罗伊·米迪 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 所揭示的方法及设备实施例提供一种与支撑衬底进行光学隔离的光子装置。截面为大致矩形的腔(125)提供在所述光子装置(129)的元件下方，且所述元件可由所述支撑衬底的在所述腔上方的凸缘形成。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 装置 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成光子结构的方法，其包括：蚀刻半导体衬底以在所述半导体衬底的凸缘部分下方产生腔；及由所述半导体衬底的所述凸缘部分形成光子装置的元件，使得所述光子装置的材料与所述半导体衬底的材料相同。
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