[实用新型]一种用于生产硅及氮化硅纳米颗粒的装置

摘要

本实用新型涉及一种用于生产硅及氮化硅纳米颗粒的装置，包括桶的外壁通过阳极接地线（4）与地线相连接而形成阳极（3）、设置在桶内部的阴极（7）和阴极支架（10），所述的阴极支架（10）将阴极（7）支撑在桶内，桶状外壁的进气盖（13）设有气体进气口（1），进气口（1）设置在进气盖（13）上的凸出圆锥上方接近圆锥顶的位置，其特征在于：所述的进气盖（13）和阴极（7）之间设有石英盖（6），石英盖（6）上的凸出圆锥（62）的形状大小与进气盖（13）凸出的圆锥形状相同；所述的石英盖（6）盖子的外沿环状平板部分上设有孔。本实用新型实现了等离子体的分布均匀，使纳米颗粒的尺寸分布更窄。

主权项

一种用于生产硅及氮化硅纳米颗粒的装置，包括桶的外壁通过阳极接地线（4）与地线相连接而形成阳极（3）、设置在桶内部的阴极（7）和阴极支架（10），所述的阴极支架（10）将阴极（7）支撑在桶内，桶状外壁的进气盖（13）设有气体进气口（1），进气口（1）设置在进气盖（13）上的凸出圆锥上方接近圆锥顶的位置，其特征在于：所述的进气盖（13）和阴极（7）之间设有石英盖（6），石英盖（6）上的凸出圆锥（62）的形状大小与进气盖（13）凸出的圆锥形状相同；石英盖（6）的外径比进气盖（13）的外径小；所述的石英盖（6）盖子的外沿环状平板部分上设有孔。