[实用新型]一种高性能MEMS超级电容

摘要

本实用新型公开了一种高性能MEMS超级电容，包括衬底层、导电层、绝缘密封层和外密封盖，所述导电层位于衬底层上，导电层由若干碳纳米管排列组成，导电层内设有注液通道，导电层划分为中心区域和位于中心区域两侧的接触区域，两侧的接触区域上分别放置有正极片和负极片，正极片和负极片分别连接有正极极耳和负极极耳，所述绝缘密封层位于导电层的上方，外密封盖安装于绝缘密封层的外侧。本实用新型具有存储能量大、体积微型化、循环寿命长、可多次循环充放电等优点，且具有良好的密封性能，电解液不易溢出，具有较长的使用寿命。

主权项

一种高性能MEMS超级电容，其特征在于：包括衬底层(1)、导电层(2)、绝缘密封层(3)和外密封盖(4)，所述导电层(2)位于衬底层(1)上，导电层(2)由若干碳纳米管(5)排列组成，导电层(2)内设有注液通道(6)，导电层(2)划分为中心区域(21)和位于中心区域(21)两侧的接触区域(22)，两侧的接触区域(22)上分别放置有正极片(71)和负极片(72)，正极片(71)和负极片(72)分别连接有正极极耳(73)和负极极耳(74)，所述绝缘密封层(3)位于导电层(2)的上方，外密封盖(4)安装于绝缘密封层(3)的外侧。