[实用新型]光阻预烤炉加热器区域结构

摘要

本实用新型公开了一种光阻预烤炉加热器区域结构，特别是指一种运用在液晶显示设备(LCD)制程上的光阻预烤炉加热装置，能使加热区域的热板达到均温，以提升产品质量及生产良率。其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于底部的支撑底板向上依序设有加热器及热板，使加热器可对热板进行加热，且该热板依加热器的数量投影而形成复数个小分区，并能凭借每一小分区的独立温度控制，来调整热板各区域的温度，期能令热板中央、环边或端边的温度一致，使放置于热板上烘烤的玻璃基板达到均匀受热。

主权项

一种光阻预烤炉加热器区域结构，其主要由腔体、加热器、热板及温度传感器所组成，该腔体为一容槽状，位于腔体底部的支撑底板向上依序设有加热器及热板，该加热器能对该热板进行加热，该腔体的顶端面则利用一上盖板将其封闭成一加热空间，其特征在于：该加热器具有4组加热器，该4组加热器设置在热板下方的四个端边区，其端边区最少需大于100mm²以上，剩余的加热区域则再划分成5大区域，该5大区域分别为上端区、下端区、左端区、右端区及中央区，位于该上端区、下端区、左端区及右端区及中央区的下方都设置有独立的加热器，使得该热板依加热器的数量投影以形成复数个加热区域，且该每一加热区域都为独立的温度控制。