[实用新型]一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置有效
| 申请号： | 201420619232.0 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN204271036U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 武文杰 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101100 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置，包括工作台板；设有贯通轴孔的密封组件穿过所述工作台板，其上端位于真空室内，下端位于大气区域；旋转轴的中间部分安装在所述轴孔内，旋转轴上端连接有定向圆盘而下端与升降驱动装置和旋转驱动装置连接；位于所述工作台板下方的密封组件部分设有和所述轴孔连通的差分抽气口；所述工作台板顶面装有LED灯安装组件；所述密封组件的上下两端均设有密封压盖；本实用新型将较大体积的驱动装置安装在真空室外，通过密封组件保证真空室内的真空度基本不受影响，解决了行业内一直以来的设计难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 注入 密封 结构 硅片 定向 装置 | ||
【主权项】：
一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置，其特征在于：包括工作台板（7）；设有贯通轴孔的密封组件（5）穿过所述工作台板（7），其上端位于真空室内，下端位于大气区域；旋转轴（3）的中间部分安装在所述轴孔内，旋转轴（3）上端连接有定向圆盘（4）而下端与升降驱动装置（1）和旋转驱动装置（2）连接；位于所述工作台板（7）下方的密封组件（5）部分设有和所述轴孔连通的差分抽气口（8）；所述工作台板（7）顶面装有LED灯安装组件（6）；所述密封组件（5）的上下两端均设有密封压盖（13）；所述轴孔两端设有用于安装所述旋转轴（3）的轴套（17）和密封圈（18），所述密封圈（18）使轴孔与旋转轴（3）之间形成密封。
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