[实用新型]晶舟位置侦测器防护装置有效
| 申请号： | 201420593857.4 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN204102866U | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 吴新江 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种晶舟位置侦测器防护装置，真空腔和贯穿该真空腔底部的光杆，所述光杆连接有位于真空腔内的晶舟承载平台；位于真空腔外的所述光杆连接有沿一丝杆上下移动的托板；所述丝杆连接于一马达；位于所述托板上且设有校准点的导杆；位于所述真空腔外与所述真空腔相对固定且用于侦测所述校准点的位置侦测传感器；位于所述托板下方的开关触发装置；该开关触发装置内设有常开常闭开关；其中，常开端与马达构成回路，常闭端与位于该开关触发装置内的报警装置构成回路。该晶舟位置侦测器防护装置用于解决现有技术中由于位置侦测传感器失效而使得所述托板上下运动异常造成晶圆撞击损坏的问题，同时减少人工维护的工作量和节省维护费用。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 侦测 防护 装置 | ||
【主权项】：
一种晶舟位置侦测器防护装置，其特征在于，所述装置至少包括：真空腔和贯穿所述真空腔底部的光杆，所述光杆连接有位于所述真空腔内部的晶舟承载平台；位于所述真空腔外部的所述光杆连接有沿一丝杆上下移动的托板；所述丝杆连接于一马达；位于所述托板上且设有校准点的导杆；位于所述真空腔外与所述真空腔相对固定且用于侦测所述校准点的位置侦测传感器；位于所述托板下方的开关触发装置；所述开关触发装置内设有常开常闭开关；其中，常开端与所述马达构成回路，常闭端与位于该开关触发装置内部的一报警装置构成回路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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