[实用新型]用于真空镀膜的磁导向单元有效
| 申请号： | 201420580862.1 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN204111862U | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 马磊;李忠;刘成;褚凯 | 申请（专利权）人： | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 王琪 |
| 地址： | 233010 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂件，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。本实用新型的磁导向单元把磁铁固定在磁铁挂件的外部，不会对工件车产生刮擦，减少了基片架与磁导向单元的摩擦，减少了粉尘，从而解决镀膜针孔的问题，并且结构简单，拆卸、安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 导向 单元 | ||
【主权项】：
用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于：包括大体呈几字形的磁铁挂件，所述磁铁挂件由整体的不锈钢一体成型，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。
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