[实用新型]一种用于放置硅片的环形花篮有效
| 申请号： | 201420474790.2 | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN203983248U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈小力;王进昌 | 申请（专利权）人： | 浙江辉弘光电能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于放置硅片的环形花篮，旨在解决现有的方形花篮存在较多的死角，造成清洗硅片不干净的问题，包括内圆管和外圆管，所述内圆管的外侧壁上设有外卡槽，所述外圆管的内侧壁上设有内卡槽，所述内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；所述内圆管上开设有内通槽，每个外卡槽顶部均与内圆管的上端相通，每个外卡槽的底部均不与内圆管底端相通；所述外圆管上开设有通槽，每个内卡槽顶部均与外圆管的上端相通，每个内卡槽的底部均不与外圆管的底端相通。本实用新型中的花篮为环形，不存在死角，便于冲洗清干净，提高了清洗时的工作效率，也有利于后序通过旋转甩出硅片上的部分水分，便于干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 放置 硅片 环形 花篮 | ||
【主权项】：
一种用于放置硅片的环形花篮，其特征是：包括同轴的内圆管(1)和外圆管(2)，所述内圆管(1)的外侧壁上设有外卡槽(11)，所述外圆管(2)的内侧壁上设有与外卡槽(11)一一对应且与外卡槽(11)配合放置硅片的内卡槽(21)，所述内圆管(1)底部和外圆管(2)的底部之间固连有杆(3)；所述内圆管(1)上开设有用于连通外卡槽(11)与内圆管(1)内部且与外卡槽(11)一一对应的内通槽(12)，每个外卡槽(11)顶部均与内圆管(1)的上端相通，每个外卡槽(11)的底部均不与内圆管(1)底端相通；所述外圆管(2)上开设有用于连通内卡槽(21)与外圆管(2)外部且与内卡槽(21)一一对应的外通槽(22)，每个内卡槽(21)顶部均与外圆管(2)的上端相通，每个内卡槽(21)的底部均不与外圆管(2)的底端相通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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