[实用新型]一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置有效
| 申请号： | 201420455449.2 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN204057978U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 谭德军 | 申请（专利权）人： | 谭德军 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，该装置由废气缓冲罐、尾气压缩机、压缩后缓冲罐、一级冷却器、二级冷却器、气液分离罐依次串联组装而成，所述气液分离罐顶端设置排气口，底端连接产品缓冲罐。本实用新型装置经过工业实际运行，废气中的氯硅烷回收率可以达到85%以上，具有较好的经济环保效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 废气 回收 硅烷 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置，其特征在于，该装置由废气缓冲罐、尾气压缩机、压缩后缓冲罐、一级冷却器、二级冷却器、气液分离罐依次串联组装而成，所述气液分离罐顶端设置排气口，底端连接产品缓冲罐。
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