[实用新型]电容MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420420268.6 | 申请日： | 2014-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN204046818U | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 许从良 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种电容MEMS麦克风，包括具有空腔的基底和设置在所述基底上的传声部，所述电容MEMS麦克风还包括置于所述空腔中并与所述基底连接的隔层件，所述隔层件包括隔板和开设在所述隔板上的通气孔，所述隔板将所述空腔分隔成上腔体和下腔体，所述通气孔用于供所述上腔体和下腔体相连通。本实用新型的电容MEMS麦克风，通过基底空腔的谐振，提高了高频时振膜处的声压，从而提高其在高频段时的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种电容MEMS麦克风，包括具有空腔的基底和设置在所述基底上的传声部，其特征在于，所述电容MEMS麦克风还包括置于所述空腔中并与所述基底连接的隔层件，所述隔层件包括隔板和开设在所述隔板上的至少一个通气孔，所述隔板将所述空腔分隔成上腔体和下腔体，所述通气孔用于供所述上腔体和下腔体相连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司，未经瑞声声学科技(深圳)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420420268.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
