[实用新型]卧式炉炉管和卧式炉有效

专利信息
申请号: 201420342521.0 申请日: 2014-06-24
公开(公告)号: CN203950787U 公开(公告)日: 2014-11-19
发明(设计)人: 谢石斌;陈春河 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;C30B31/06;C30B31/10
代理公司: 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 代理人: 尚志峰;汪海屏
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供了一种卧式炉炉管和一种卧式炉,其中,卧式炉炉管包括:炉管腔体;LOAD端,用于盛放待送入炉管腔体内的产品,并可在外力的作用下将产品推入或拉出炉管腔体;石英门,设置在LOAD端上,用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时,随LOAD端进入炉管腔体,并堵塞炉管腔体的开口;固定底座,设置在LOAD端上,固定底座与石英门通过石英杆相连,以对石英门进行固定;挡板,设置在LOAD端上,且设置固定底座与石英门之间,用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时,在炉管腔体外堵塞炉管腔体的开口;连接件,用于连接石英杆与挡板。本实用新型的技术方案可以避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时,由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的而脱落损坏石英杆和石英门。
搜索关键词: 卧式 炉管
【主权项】:
一种卧式炉炉管,其特征在于,包括: 炉管腔体; LOAD端,用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品,并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体; 石英门,设置在所述LOAD端上,用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时,随所述LOAD端进入所述炉管腔体,并堵塞所述炉管腔体的开口; 固定底座,设置在所述LOAD端上,所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连,以对所述石英门进行固定; 挡板,设置在所述LOAD端上,且设置所述固定底座与所述石英门之间,用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时,在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口; 连接件,用于连接所述石英杆与所述挡板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司,未经北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420342521.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top