[实用新型]卧式炉炉管和卧式炉有效
申请号: | 201420342521.0 | 申请日: | 2014-06-24 |
公开(公告)号: | CN203950787U | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 谢石斌;陈春河 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;C30B31/06;C30B31/10 |
代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;汪海屏 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种卧式炉炉管和一种卧式炉,其中,卧式炉炉管包括:炉管腔体;LOAD端,用于盛放待送入炉管腔体内的产品,并可在外力的作用下将产品推入或拉出炉管腔体;石英门,设置在LOAD端上,用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时,随LOAD端进入炉管腔体,并堵塞炉管腔体的开口;固定底座,设置在LOAD端上,固定底座与石英门通过石英杆相连,以对石英门进行固定;挡板,设置在LOAD端上,且设置固定底座与石英门之间,用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时,在炉管腔体外堵塞炉管腔体的开口;连接件,用于连接石英杆与挡板。本实用新型的技术方案可以避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时,由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的而脱落损坏石英杆和石英门。 | ||
搜索关键词: | 卧式 炉管 | ||
【主权项】:
一种卧式炉炉管,其特征在于,包括: 炉管腔体; LOAD端,用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品,并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体; 石英门,设置在所述LOAD端上,用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时,随所述LOAD端进入所述炉管腔体,并堵塞所述炉管腔体的开口; 固定底座,设置在所述LOAD端上,所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连,以对所述石英门进行固定; 挡板,设置在所述LOAD端上,且设置所述固定底座与所述石英门之间,用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时,在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口; 连接件,用于连接所述石英杆与所述挡板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司,未经北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420342521.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造