[实用新型]卧式炉炉管和卧式炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及卧式炉技术领域，具体而言，涉及一种卧式炉炉管和一种卧式炉。

背景技术

在半导体器件的制造流程中，需要使用卧式炉炉管在高温环境下对硅晶片进行扩散、氧化或低压化学气相沉积的处理。而三氯氧磷淀积是半导体制造过程中常用的掺杂工艺，其工艺原理主要是通高纯氮气携带POCL₃(三氯氧磷)进入炉管，在高温下POCL₃分解，同时通入一定量的氧气与分解产物PCL₅(五氯化磷)进行反应，以改善硅片的表面质量，反应产物P₂O₅(无氧化磷)与硅片表面接触并与硅原子发生还原反应，生成P(磷)原子和SIO₂(二氧化硅)，P原子在高温下扩散进入硅片内部，以实现掺P的工艺。

但制程产物磷酸具有粘附性，在产品出炉时，磷酸会使石英门与炉管腔体粘附在一起，在水平硬力的作用下，会导致支撑石英门的石英杆掉落损坏，影响了安全生产，也会由于损坏石英杆及石英门而增加生产成本。如图1A所示，在产品出炉时，石英门104与炉管腔体(图中未示出)粘附在一起，若施加水平硬力，会导致石英杆102脱落损坏，其中石英杆102的结构示意图如图1B所示。

因此，如何避免在卧式炉工艺产品出炉时，石英杆与石英门脱落损坏成为亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型正是基于上述技术问题至少之一，提出了一种新的卧式炉炉管，可以在LOAD端水平拉出方向上对石英杆施加拉力，避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的水平拉力作用而脱落损坏石英杆和石英门，降低了生产成本。

有鉴于此，根据本实用新型的一个方面，提出了一种卧式炉炉管，包括：炉管腔体；LOAD端，用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体；石英门，设置在所述LOAD端上，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，随所述LOAD端进入所述炉管腔体，并堵塞所述炉管腔体的开口；固定底座，设置在所述LOAD端上，所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连，以对所述石英门进行固定；挡板，设置在所述LOAD端上，且设置所述固定底座与所述石英门之间，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口；连接件，用于连接所述石英杆与所述挡板。

在该技术方案中，由于在卧式炉的生产过程中，石英门会与炉管腔体粘附在一起，例如在三氯氧磷淀积的工艺中，制程产物磷酸具有粘附性，会将石英门与炉管腔体粘附在一起，则会在LOAD端将产品从炉管腔体内拉出时，造成支撑石英门的石英杆掉落损坏，因此通过使用连接件连接石英杆与挡板，可以在LOAD端拉出方向上对石英杆施加拉力，避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的水平拉力作用而脱落损坏石英杆和石英门，降低了生产成本。其中，石英门与挡板都起到堵塞炉管腔体开口的作用，但是石英门是进入炉管腔体内堵塞炉管腔体开口，而挡板是在炉管腔体外部堵塞炉管腔体开口。优选地，石英门设置在LOAD端的桨上。

在上述技术方案中，优选地，所述连接件为钢丝。

在上述技术方案中，优选地，所述石英杆上设置有凸起，所述钢丝连接在所述凸起与所述挡板之间。

在该技术方案中，通常情况下石英杆为圆柱体结构，因此通过在石英杆上设置凸起，能够更加方便地将钢丝系在石英杆上。

在上述技术方案中，优选地，所述凸起上设置有至少一个连接孔，所述钢丝通过所述连接孔与所述凸起相连。

在该技术方案中，通过在凸起上设置连接孔，能够更加牢固地将钢丝系在石英杆上，防止滑落。

在上述技术方案中，优选地，所述凸起为围绕所述石英杆设置的圆柱体。

在该技术方案中，优选地，可以在圆柱体凸起上设置多个连接孔，且多个连接孔分布在不同方向上，以使钢丝通过多个连接孔连接凸起与挡板时，石英杆在各个方向上受力均匀。

在上述技术方案中，优选地，所述圆柱体的直径为1.6厘米，所述圆柱体的高度为0.7厘米。

在上述技术方案中，优选地，所述凸起设置在所述石英门与所述挡板之间的石英杆上。

在该技术方案中，由于在POCL3炉管中石英门通常会与炉管腔体粘附在一起，因此通过在凸起设置在石英门与挡板之间的石英杆上，能够提供石英杆对石英门的拉力。