[实用新型]卧式炉炉管和卧式炉有效
| 申请号： | 201420342521.0 | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN203950787U | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 谢石斌;陈春河 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;C30B31/06;C30B31/10 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卧式 炉管 | ||
1.一种卧式炉炉管，其特征在于，包括：
炉管腔体；
LOAD端，用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体；
石英门，设置在所述LOAD端上，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，随所述LOAD端进入所述炉管腔体，并堵塞所述炉管腔体的开口；
固定底座，设置在所述LOAD端上，所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连，以对所述石英门进行固定；
挡板，设置在所述LOAD端上，且设置所述固定底座与所述石英门之间，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口；
连接件，用于连接所述石英杆与所述挡板。
2.根据权利要求1所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述连接件为钢丝。
3.根据权利要求2所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述石英杆上设置有凸起，所述钢丝连接在所述凸起与所述挡板之间。
4.根据权利要求3所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述凸起上设置有至少一个连接孔，所述钢丝通过所述连接孔与所述凸起相连。
5.根据权利要求3或4所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述凸起为围绕所述石英杆设置的圆柱体。
6.根据权利要求5所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述圆柱体的直径为1.6厘米，所述圆柱体的高度为0.7厘米。
7.根据权利要求3或4所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述凸起设置在所述石英门与所述挡板之间的石英杆上。
8.根据权利要求1所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述挡板上设置有开口，所述石英杆通过所述开口连接在所述固定底座和所述石英门之 间。
9.根据权利要求1所述的卧式炉炉管，其特征在于，所述挡板为金属挡板。
10.一种卧式炉，其特征在于，包括：权利要求1至9中任一项所述的卧式炉炉管。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
