[实用新型]一种单晶炉用组合式加热器有效
申请号: | 201420283369.3 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN203923445U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 张鑫;李强;白喜军;白忠学 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人: | 潘宪曾 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉用组合式加热器,包括主加热器和置于主加热器下方的副加热器,副加热器包括环形体和底部发热体;环形体上开设有多个固定发热体的孔槽,该多个孔槽绕环形体周向均匀布置、沿环形体的轴向延伸;底部发热体的外端与环形体底端连接、其内端向环形体内延伸;底部发热体的宽度沿环形体的径向向内逐渐减小;环形体的底端相对位置处各开设有一豁口,与该豁口的周向两侧相邻的短径底部发热体的径向长度比其余的底部发热体短。该单晶炉用组合式加热器结构简单,方便制造和应用,尤其是能大大降低熔料能耗、避免了石英坩埚被撑破的风险,提高生长单晶成品率和品质,降低了单晶硅的氧含量。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 组合式 加热器 | ||
【主权项】:
一种单晶炉用组合式加热器,包括主加热器和置于主加热器下方的副加热器,其特征在于:所述副加热器包括环形体(1)和底部发热体(2);所述环形体(1)上开设有多个孔槽(3),该多个孔槽(3)绕环形体(1)周向均匀布置,并沿环形体(1)的轴向延伸;底部发热体(2)的一端与环形体(1)底端连接、另一端向环形体(1)内延伸;底部发热体(2)的宽度沿环形体(1)的径向向内逐渐减小;环形体(1)的底端相对位置处各开设有一豁口(4),与该豁口(4)的周向两侧相邻的短径底部发热体(20、21)的径向长度比其余的底部发热体(2)短。
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