[实用新型]一种单芯片三轴线性磁传感器

摘要

本实用新型公开了一种单芯片三轴线性磁传感器，其中传感器包括一X轴传感器、Y轴传感器和Z轴传感器。其中X轴传感器包含有一参考电桥和至少两个X-磁通量控制器，Y轴传感器包含有一推挽电桥和至少两个Y-磁通量控制器，Z轴传感器包含有一推挽电桥和至少一个Z-磁通量控制器。参考电桥、推挽电桥的桥臂均由一个或多个磁电阻传感元件电连接构成，磁电阻传感元件的敏感轴方向和钉扎层的磁化方向均沿X轴方向。该单芯片三轴线性磁传感器具有成本低、制作简单、线性度好、灵敏度高等优点。

主权项

一种单芯片三轴线性磁传感器，其特征在于，该传感器包括：一位于XY平面内的基片，所述基片上集成设置有一X轴传感器、一Y轴传感器和一Z轴传感器，各自均包括一个或多个相同的相互电连接的磁电阻传感元件，分别用于检测磁场在X轴方向、Y轴方向、Z轴方向上的分量；所述X轴传感器包含有一参考电桥和至少两个X‑磁通量控制器，所述参考电桥的参考臂和感应臂交替排列，并且各自均包括所述一个或多个相同的相互电连接的磁电阻传感元件；所述参考臂上的磁电阻传感元件位于所述X‑磁通量控制器的上方或下方，并沿着所述X‑磁通量控制器的长度方向排列形成参考元件串；所述感应臂上的磁电阻传感元件位于相邻两个所述X‑磁通量控制器之间的间隙处，并沿着所述X‑磁通量控制器的长度方向排列形成感应元件串；所述Y轴传感器包含有一推挽电桥，所述推挽电桥的推臂和挽臂上各自对应设置有至少两个Y‑磁通量控制器，所述推臂和所述挽臂交替排列，各自均包括所述一个或多个相同的相互电连接的磁电阻传感元件，所述磁电阻传感元件分别位于对应的两个相邻所述Y‑磁通量控制器之间的间隙处；所述Z轴传感器包含有一推挽电桥和至少一个Z‑磁通量控制器，所述推挽电桥的推臂和挽臂交替排列，各自均包括所述一个或多个相同的相互电连接的磁电阻传感元件；所述推臂和所述挽臂上的磁电阻传感元件分别位于所述Z‑磁通量控制器的下方两侧或上方两侧，并均沿着所述Z‑磁通量控制器的长度方向排列；所述X轴传感器、Y 轴传感器和Z轴传感器中的所有所述磁电阻传感元件的钉扎层的磁化方向均相同，在没有磁通量控制器时，所有所述磁电阻传感元件的感应方向为X轴方向；其中，X轴、Y轴和Z轴两两正交。