[实用新型]一种版盒加载卸载装置有效
申请号: | 201420179905.5 | 申请日: | 2014-04-15 |
公开(公告)号: | CN203838474U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 孙鹤源;王长刚 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;B65H5/08 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供版盒加载卸载装置,包括:版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口;其中,版盒加载卸载单元运送版盒、由取放版机械手交接,将版盒放置于版库,版库承载版盒,一掩模版放置于版盒中;人工加载窗口与版盒加载卸载单元交互;版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在安装框架上,并放置于所述防护框架内。通过运动轴将版盒送到特定位置处,减少了取放版机械手控制的复杂性下降;通过掩膜存在感应器来判断掩模及版盒的物料信息及通过LED指示灯更直观的反应信息,避免了物料信息混乱的局面;通过可升降运动轴,配合特定加载卸载版盒流程,在设计中更注重了人机工程学。 | ||
搜索关键词: | 一种 加载 卸载 装置 | ||
【主权项】:
一种版盒加载卸载装置,其特征在于,包括:版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口;其中,所述版盒加载卸载单元运送所述版盒,由所述取放版机械手交接,将所述版盒放置于所述版库,所述版库承载版盒,一掩模版放置于所述版盒中;所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互;所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上,并放置于所述防护框架内。
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