[实用新型]一种版盒加载卸载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，特别涉及一种版盒加载卸载装置。

背景技术

光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到硅片或玻璃基板上的设备。掩模传输系统负责物料在曝光成像单元（掩模台）和版盒（物料接口）之间的传送，掩模传输系统是光刻设备的重要组成部分。

在现有掩模传输系统的工作流程中，首先将装有掩模版的版盒人工放置在加载卸载装置上，所述版盒被加载卸载装置运送至取放版机械手交接工位，接着由所述取放版机械手将版盒放入版库中，解锁机构进行解锁，机械手从版库中取出掩模版，送至掩模台进行交接，最后曝光后由掩模台交接与机械手，由机械手送回，把曝光好的掩模版放回版盒，通过加载卸载装置卸载到人工窗口取出，完成整体的掩模传输过程。

从上述流程可以发现，加载卸载装置是分系统与操作人员物料交接的窗口，物料信息的管理、加载人员的安全性及加载卸载的效率都是影响掩模传输的因素。

由于现有技术中，在关于掩模的信息管理上，也存在管理弊端，对于存放版盒及版盒中掩模版的存在状态也无明确的判断，往往会给掩模信息上带来混乱，掩模板的状态管理也是掩模传输很关键的一个环节。加载卸载装置作为光刻设备与外界的接口，在现有设备中，往往忽略了人机工程学对于取放版盒的合理设计，给操作人员带来操作不便，对于操作人员的安全保护也是研究的重点。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种版盒加载卸载装置，包括：版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中，

所述版盒加载卸载单元运送所述版盒，由所述取放版机械手交接，将所述版盒放置于所述版库，所述版库承载版盒，一掩模版置放于所述版盒中；

所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互；

所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上，并放置于所述防护框架内。

进一步的，在所述的版盒加载卸载装置中，所述版盒有条码区。

进一步的，在所述的版盒加载卸载装置中，所述版盒加载卸载单元包括：运动轴；支撑架，与所述运动轴连接；人工加载区，与所述支撑架连接；掩膜存在感应器，设置于所述人工加载区的第一侧；条码读取器，设置于所述人工加载区的第二侧。

进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述人工加载区包括：第一定位件、第二定位件、第三定位件和第四定位件，用于保证所述版盒加载时的位置精度；

微动开关，设置于所述第二定位件的一侧；

LED指示灯，用于显示所述版盒和掩模版的有无状态。

进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述LED指示灯有2个。

进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述支撑架包括：真空吸附件，用于固定加载完成的版盒；调平件，用于调整版盒加载卸载单元的位置，确保能与所述取放版机械手交接。

进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述运动轴包括：人工加载位互锁件、机械手加载位互锁件和锁紧气缸；当所述人工加载区运动至机械手加载工位时，所述锁紧气缸锁紧所述机械手加载位互锁件，当所述人工加载区运动至人工加载工位时，所述锁紧气缸锁紧所述人工加载位互锁件。

进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述人工加载窗口包括三组对射式安全传感器，用于所述版盒加载卸载单元运动到所述人工加载窗口时，若出现异常场景，则触发所述对射式安全传感器，并进行安全保护。

本实用新型提供的版盒加载卸载装置，具有以下有益效果：通过运动轴将版盒送到特定位置处，减少了取放版机械手的工位，取放版机械手控制的复杂性下降。同时通过掩膜存在感应器来判断掩模及版盒的物料信息及通过LED指示灯更直观的反应信息，避免了物料信息混乱的局面。通过可升降运动轴，配合特定加载卸载版盒流程，在设计中更注重了人机工程学。同时，根据原理简单的版盒定位及自锁结构，很好的保证了机械手取放版时的重复性及取放版精度，更好的提高了加载卸载装置的使用性能。该装置充分考虑人机交互时，各种安全保护，使人工操作加版更具安全性。

附图说明

图1是本实用新型实施例版盒加载卸载装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例版盒加载卸载装置的版盒结构示意图；

图3是本实用新型实施例版盒加载卸载装置的版盒加载卸载单元结构示意图；

图4是本实用新型实施例版盒加载卸载装置的人工加载区结构示意图；

图5是本实用新型实施例版盒加载卸载装置的支撑架结构示意图；