[发明专利]一种异方性导电膜紫外激光邦定装置有效
| 申请号： | 201410746474.0 | 申请日： | 2014-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104460379A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 龚火烘;刘呈贵;赵昌后;万贤飞;肖仁亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市飞世尔实业有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/60 |
| 代理公司： | 深圳市嘉宏博知识产权代理事务所 44273 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种异方性导电膜紫外激光邦定装置包括紫外激光源、光处理器、振镜、石英底座、压头、压力控制装置、程序控制器；该石英底座的材料为紫外光学石英玻璃，呈倒“U”型结构。该压头位于该石英底座的上方；该压力控制装置位于该压头上方，该压力控制装置连接该压头；该程序控制器与该紫外激光源、光处理器、振镜分别连接；所述光处理器对紫外激光源输出的激光进行处理，输出激光矩形束斑；所述的振镜将上述激光矩形束斑经全反射后照射透过该石英底座。本发明装置，在用于光固化型ACF的邦定时无需增加热源装置，在用于热固化型ACF邦定时，升温速度更快，温度控制更准确，缩短了固化时间，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异方性 导电 紫外 激光 装置 | ||
【主权项】：
一种异方性导电膜紫外激光邦定装置，其特征在于，其包括紫外激光源、光处理器、振镜、石英底座、压头、压力控制装置、程序控制器；该石英底座的材料为紫外光学石英玻璃，呈倒“U”型；该压头位于该石英底座的上方；该压力控制装置位于该压头上方，该压力控制装置连接该压头；该程序控制器与该紫外激光源、光处理器、 振镜分别连接，该程序控制器能够控制该紫外激光源、光处理器、 振镜；所述光处理器对紫外激光源输出的激光进行处理，输出激光矩形束斑；所述的振镜将上述激光矩形束斑经全反射后照射透过该石英底座。
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