[发明专利]一种涂胶机涂覆材料的供应装置在审
| 申请号： | 201410691728.3 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105629667A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 胡延兵;汪明波 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，具体的说涉及一种涂胶机涂覆材料的供应装置。包括截止阀、缓冲罐、涂覆材料承装容器及涂覆材料喷头，其中涂覆材料承装容器为倒置的容器，容器封口有出液口，所述缓冲罐的顶端设有缓冲罐进液口，底部设有缓冲罐出液口，通过缓冲罐进液管路将涂覆材料承装容器与缓冲罐进液口连通，所述涂覆材料喷头设置于待涂覆晶圆的上方、并通过缓冲罐出液管路与缓冲罐出液口连通，所述缓冲罐出液管路上设有截止阀；涂覆作业时，通过涂覆材料承装容器内的液面与缓冲罐内的液面高度差，控制涂覆材料喷头的涂覆材料吐出量与涂覆材料承装容器的供给量的平衡。本发明操作维护简单、用料消耗经济，根据虹吸原理实现程式化供给涂覆材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 机涂覆 材料 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种涂胶机涂覆材料的供应装置，其特征在于：包括截止阀(2)、缓冲罐(3)、涂覆材料承装容器(4)及涂覆材料喷头(7)，其中涂覆材料承装容器(4)为倒置的容器，容器封口有出液口，所述缓冲罐(3)的顶端设有缓冲罐进液口，底部设有缓冲罐出液口，通过缓冲罐进液管路将涂覆材料承装容器(4)与缓冲罐进液口连通，所述涂覆材料喷头(7)设置于待涂覆晶圆(1)的上方、并通过缓冲罐出液管路与缓冲罐出液口连通，所述缓冲罐出液管路上设有截止阀(2)；涂覆作业时，通过涂覆材料承装容器(4)内的液面与缓冲罐(3)内的液面高度差，控制涂覆材料喷头(7)的涂覆材料吐出量与涂覆材料承装容器(4)的供给量的平衡。
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