[发明专利]一种单电极产生低温等离子体的装置有效
申请号: | 201410585628.2 | 申请日: | 2014-10-28 |
公开(公告)号: | CN104284502A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 万京林;万良淏;万良庆 | 申请(专利权)人: | 南京苏曼等离子科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 戴朝荣 |
地址: | 211199 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单电极产生低温等离子体的装置,包括高频电源模块、匹配模块、高频升压模块、线电极、成对的金属球电极;高频电源模块通过匹配模块与高频升压模块相连,所述高频升压模块还与其中一个金属球电极相连,所述该金属球电极通过线电极连接另一个金属球电极;高频电源模块产生的高频源信号经过匹配模块对高频升压模块进行激励产生高压,高压加载到成对金属球直间的线电极上,线电极周围的空气被击穿放电,产生线状的低温等离子体;本发明实现了在常压下用一根线状电极即可以产生宽幅低温等离子体,只需在材料的一面进行低温等离子体处理,有效地改善了DBD低温等离子体两个电极之间的距离限制和不能处理比较厚的高分子材料或中空的材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 产生 低温 等离子体 装置 | ||
【主权项】:
一种单电极产生低温等离子体的装置,包括顺次相连接的高频电源模块、匹配模块和高频升压模块,其特征在于:所述高频升压模块的输出端还连接有一个金属球电极,所述金属球电极经过线电极与另一个金属球电极相连接;高频电源模块产生的高频源信号经过匹配模块对高频升压模块进行激励产生高压,高压加载到成对金属球之间的线电极上,线电极上的高压达到设定的阈值时,线电极周围的空气被击穿放电,线电极上产生线状的低温等离子体。
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