[发明专利]力检测装置、机器人、电子部件输送装置及检查装置

摘要

本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。

主权项

1.一种力检测装置，其特征在于，具备：第一基部；第二基部；以及第一元件、第二元件、第三元件以及第四元件，在所述第一基部与所述第二基部之间相对于所述第一基部和所述第二基部倾斜或者垂直配置，将根据外力而输出的电荷转换为电压，并根据所述电压来检测所述外力，所述第一元件、所述第二元件、所述第三元件以及所述第四元件分别通过将具有根据所述外力而输出的电荷的极化轴的多个传感器层叠来构成，在将所述多个传感器的层叠方向设为γ轴方向，将与所述γ轴方向正交且相互正交的方向分别设为α轴方向、β轴方向的情况下，所述多个传感器包括根据向所述α轴方向的所述外力而输出所述电荷的α轴用传感器、和根据向所述β轴方向的所述外力而输出所述电荷的β轴用传感器，所述第一元件的所述α轴用传感器的所述极化轴的方向与所述第三元件的所述α轴用传感器的所述极化轴的方向朝向相反方向，所述第一元件的所述β轴用传感器的所述极化轴的方向与所述第三元件的所述β轴用传感器的所述极化轴的方向朝向相反方向，所述第二元件的所述α轴用传感器的所述极化轴的方向与所述第四元件的所述α轴用传感器的所述极化轴的方向朝向相反方向，所述第二元件的所述β轴用传感器的所述极化轴的方向与所述第四元件的所述β轴用传感器的所述极化轴的方向朝向相反方向。