[发明专利]一种提高反应室使用效率的方法

摘要

本发明涉及集成电路制造领域，具体涉及一种提高反应室使用效率的方法，在进行一道生产工艺前，通过生产工艺控制系统得到进行上述生产工艺的机台上可用反应室数量，并于该生产工艺控制系统中设定参与上述生产工艺的最小反应室的数量，继续将上述的数据信息传输至机台自动化系统，而该机台自动化系统继续利用上述可用反应室的属性信息选择符合最小反应室数量的空闲的可用反应室，继续均衡上述空闲的可用反应室将要处理晶圆的数量后，于该空闲的可用反应室中进行生产工艺，从而减少了晶圆等待处理的时间，有效提高了反应室的使用效率。

主权项

1.一种提高反应室使用效率的方法，应用于设置有若干反应室的晶圆机台上，其特征在于，所述方法包括：步骤S1：在进行一道生产工艺前，于生产工艺控制系统中，根据该道生产工艺的条件和每个反应室的参数数据设置所述晶圆机台上可用于进行所述生产工艺的反应室，并根据工艺需求设定参与所述生产工艺的最小反应室数量；步骤S2：当若干个晶圆进入一所述晶圆机台进行所述生产工艺时，机台自动化系统根据生产工艺控制系统中设置的可用于进行所述生产工艺的反应室，得出可用反应室的属性信息，并获取该晶圆机台上可用反应室数量和所述最小反应室数量；步骤S3：所述机台自动化系统将当前晶圆机台上可用反应室数量与所述最小反应室数量进行比对；若当前晶圆机台上可用反应室数量大于所述最小反应室数量时，所述机台自动化系统根据所述可用反应室的属性信息，在当前晶圆机台上选择空闲的可用反应室进行所述生产工艺；否则，所述机台自动化系统根据所述可用反应室的属性信息，在当前晶圆机台上选择所有的可用反应室进行所述生产工艺；其中，所述空闲的可用反应室的数量与所述最小反应室数量相等。