[发明专利]静电卡盘装置及晶片或托盘的固定方法

摘要

本发明涉及一种静电卡盘装置及晶片或托盘的固定方法，所述静电卡盘装置包括绝缘本体、卡盘本体、供电电源、多个第一静电吸附电极与多个第二静电吸附电极，绝缘本体设置在卡盘本体上；所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极埋设在所述绝缘本体的内部；所述供电电源直流电压输出端与所述第一静电吸附电极、所述第二静电吸附电极电连接；所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极上加载的直流电压的极性相反，所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极交替相邻并彼此电绝缘，本发明的静电卡盘装置能有效固定晶片，特别是高绝缘电介质晶片；晶片或托盘的固定方法保证了各种类型的晶片或托盘可靠固定，不会发生“跳片”现象。

主权项

1.一种静电卡盘装置，包括绝缘本体、卡盘本体与供电电源，所述绝缘本体设置在所述卡盘本体上，其特征在于，还包括至少两个第一静电吸附电极和至少两个第二静电吸附电极；所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极埋设在所述绝缘本体的内部；所述供电电源的直流电压输出端分别与所述第一静电吸附电极和所述第二静电吸附电极电连接；所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极上加载的直流电压的极性相反，所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极交替相邻设置，所述第一静电吸附电极与所述第二静电吸附电极之间相互绝缘；所述静电卡盘装置还包括用于控制所述供电电源运行的控制模块；所述控制模块包括计时器和电源控制器；所述电源控制器通过所述供电电源的控制端口控制所述供电电源按照预设指令运行；所述预设指令包括当所述计时器的到达预设时间时，所述电源控制器将所述供电电源的输出电压的极性反转，并将所述计时器的计时清零；所述静电卡盘装置能够防止等离子启辉造成的晶片跳片。