[发明专利]感光性树脂组合物、感光性树脂层压体和抗蚀图案形成方法有效
| 申请号： | 201410384082.4 | 申请日： | 2010-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN104111585A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 西泽豪 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;G03F7/027;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明涉及感光性树脂组合物、感光性树脂层压体和抗蚀图案形成方法。本发明提供一种刚曝光后的对比度良好的感光性树脂组合物。本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有：(a)含有羧酸、且酸当量为100～600、重均分子量为5,000～500,000的碱可溶性高分子20～80质量％、(b)含有至少1种具有丙烯酰基的化合物的烯属不饱和加成聚合性单体5～60质量％、(c)含有N-芳基-α-氨基酸化合物的光聚合引发剂0.1～20质量％、(d)隐色染料0.1～10质量％、和(e)下述通式(I)表示的巯基噻二唑化合物0.01～5质量％。{式中，R1表示选自由碳原子数1～9的烷基、碳原子数1～9的烷氧基、碳原子数1～16的烷硫基、巯基、氨基、和碳原子数1～9的烷氨基组成的组中的一种基团}。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 层压 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：(a)含有羧酸、且酸当量为100～600、重均分子量为5,000～500,000的碱可溶性高分子:20～80质量％、(b)含有至少1种具有丙烯酰基的化合物的烯属不饱和加成聚合性单体:5～60质量％、(c)含有N‑芳基‑α‑氨基酸化合物的光聚合引发剂:0.1～20质量％、(d)隐色染料:0.1～10质量％、和(e)下述通式(I)表示的巯基噻二唑化合物:0.01～5质量％，![]()
式(Ⅰ)中，R1表示选自由碳原子数1～9的烷基、碳原子数1～9的烷氧基、碳原子数1～16的烷硫基、巯基、氨基、和碳原子数1～9的烷氨基组成的组中的一种基团。
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