[发明专利]一种柔性磁薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201410360584.3 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104167275A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 车雯茹;孙钮一;张琰卿;单荣 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01F10/08 | 分类号： | H01F10/08;H01F41/14;H01F41/18 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性磁薄膜及其制备方法，该柔性磁薄膜具有柔性衬底和生长于柔性衬底表面的磁性材料，柔性衬底的粗糙度小于或等于10纳米；制备方法包括：将柔性基材剪裁成正方形作为柔性衬底；用异丙醇超声清洗柔性衬底10～15min并用氮气吹干；在真空度小于5×10-5Pa的环境下采用直流磁控溅射法依次生长第一铂金层、钴层和第二铂金层；本发明的柔性磁薄膜延展性很好，能够很方便地进行弯曲并且在弯曲的同时其物理性质也不会发生大的改变，具有成本低廉和生产工艺简单的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性磁薄膜，其特征在于：具有：柔性衬底和生长于所述柔性衬底表面的磁性材料，所述柔性衬底的粗糙度小于或等于10纳米。
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