[发明专利]一种多晶硅生产系统及方法有效
| 申请号： | 201410342757.9 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN105253889B | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 孙运德;吕海花;刘丹丹 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 罗建民,邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅生产系统及方法，该系统包括还原炉和尾气换热器，还原炉与尾气换热器通过第一尾气管线相连，尾气输出管线与尾气换热器相连，该系统还包括第二尾气管线，第二尾气管线分别与第一尾气管线和尾气输出管线相连；第二尾气管线能够分流第一尾气管线内的尾气，且能够使第二尾气管线内的尾气不与物料进行换热，可降低第一尾气管线内尾气的温度，也相应减少尾气换热器的热源，从而降低物料输送管线内混合气的进料温度，消除第一尾气管线和物料输送管线高温运行的安全隐患，抑制雾化效应，提高多晶硅产品质量，无需通过降料、降低电流来控制尾气温度，可以提高多晶硅沉积速度，从而提高生产效率、节能降耗、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产系统，包括：还原炉和尾气换热器，还原炉与尾气换热器通过第一尾气管线相连，尾气输出管线与尾气换热器相连，其特征在于，所述系统还包括第二尾气管线，第二尾气管线分别与第一尾气管线和尾气输出管线相连；第二尾气管线能够分流第一尾气管线内的尾气，且能够使第二尾气管线内的尾气不与物料进行换热。
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