[发明专利]一种显影液恒温保持管路系统有效
| 申请号： | 201410334927.9 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105319872B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王丽鹤 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体匀胶显影领域，具体地说是一种显影液恒温保持管路系统，保温水循环系统的出口通过进水管进入显影单元、连接至集液块，与显影液源相连的显影液管进入显影单元，依次连接集液块、水液分离式药液阀及分液块，集液块与水液分离式药液阀之间的显影液管以及分液块与水液分离式药液阀之间的显影液管外均设有保温水套管，保温水套管与显影液管之间流通有由保温水循环系统提供的保温水；经分液块流出的保温水进入喷嘴的一个腔室，并通过回水管与保温水循环系统相连通，经分液块流出的显影液进入喷嘴的另一个腔室，喷洒至晶圆的表面。本发明使显影液管进入显影单元后完全浸泡在保温水里，避免裸露在外，减少其他因素对显影液的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 恒温 保持 管路 系统 | ||
【主权项】：
1.一种显影液恒温保持管路系统，其特征在于：包括保温水循环系统(11)及位于显影单元内的集液块(7)、水液分离式药液阀(5)和安装有分液块(3)的喷嘴(2)，其中保温水循环系统(11)的出口通过进水管(8)进入所述显影单元、连接至所述集液块(7)，与显影液源相连的显影液管(10)进入所述显影单元，依次连接集液块(7)、水液分离式药液阀(5)及分液块(3)，所述集液块(7)与水液分离式药液阀(5)之间的显影液管(10)以及所述分液块(3)与水液分离式药液阀(5)之间的显影液管(10)外均设有保温水套管(4)，所述保温水套管(4)与显影液管(10)之间流通有由保温水循环系统(11)提供的保温水；经所述分液块(3)流出的保温水进入所述喷嘴(2)的一个腔室，并通过回水管(9)与所述保温水循环系统(11)的入口相连通，经所述分液块(3)流出的显影液进入所述喷嘴(2)的另一个腔室，喷洒至晶圆(1)的表面；/n所述分液块(3)内设有相互独立的第一腔室(301)及第二腔室(302)，所述显影液管(10)及保温水套管(4)分别与分液块(3)相连，且所述显影液管(10)与所述第一腔室(301)连通、所述保温水套管(4)与所述第二腔室(302)连通；/n所述集液块(7)内设有第三腔室(702)，在该集液块(7)上开有与所述第三腔室(702)相连通的进水孔(701)，所述显影液管(10)由第三腔室(702)穿出，所述进水孔(701)通过所述进水管(8)与保温水循环系统(11)相连通，保温水由该进水孔(701)流入，并经所述显影液管(10)与所述第三腔室(702)的内壁之间流入保温水套管(4)。/n
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