[发明专利]一种高质量单双层可控的二硫化钼制备方法有效

专利信息
申请号: 201410320352.5 申请日: 2014-07-07
公开(公告)号: CN104058458B 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 廖源;周献亮;周朝迅;董振超 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: C01G39/06 分类号: C01G39/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 贺卫国
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种层状二硫化钼制备方法,所述层状二硫化钼为单层或双层结构,其中采用化学气相沉积法,以单质的钼金属和硫粉做为源,在基底表面沉积二维二硫化钼,其中通过对沉积温度、生长时间等制备参数的优化,实现对高质量二硫化钼单层或双层结构的控制生长。
搜索关键词: 一种 质量 双层 可控 二硫化钼 制备 方法
【主权项】:
一种层状二硫化钼制备方法,所述层状二硫化钼为单层的,其中采用化学气相沉积法,以单质的钼金属和硫粉做为源,在基底表面沉积二维二硫化钼,其中将沉积时的温度控制为:800℃至850℃,并且沉积时间控制为5至30分钟。
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