[发明专利]晶片传输装置和工艺腔室

摘要

本发明涉及一种晶片传输装置，包括卡盘机构和卡爪机构，所述卡盘机构包括卡盘和卡盘升降机构，所述卡爪机构包括卡爪升降机构和相对设置的至少两个活动卡爪；所述活动卡爪包括凸台、转轴和摆动件，所述凸台固定在所述卡爪升降机构上，所述摆动件通过所述转轴固定在所述凸台上，所述摆动件能够以所述转轴为中心摆动；所述卡盘能够驱动所述摆动件摆动。本发明还提供一种包括上述晶片传输装置的工艺腔室。通过以上设计，达到精确定位卡盘上的晶片或托盘的目的。

主权项

一种晶片传输装置，包括卡盘机构和卡爪机构，所述卡盘机构包括卡盘和卡盘升降机构，其特征在于，所述卡爪机构包括卡爪升降机构和相对设置的至少两个活动卡爪；所述活动卡爪包括凸台、转轴和摆动件，所述凸台固定在所述卡爪升降机构上，所述摆动件通过所述转轴固定在所述凸台上，所述摆动件能够以所述转轴为中心摆动；所述卡盘上与所述活动卡爪相对应的位置上设置容纳部；当所述卡盘移动至所述活动卡爪的位置时，所述摆动件能够穿过所述容纳部，且当所述容纳部与所述摆动件接触时，所述容纳部的边缘能够驱动所述摆动件摆动。