[发明专利]一种晶片制造用环保抛光剂在审
| 申请号： | 201410282466.5 | 申请日： | 2014-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN104046253A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片制造用环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：二氧化氯11-16份，盐酸2-4份，氧化铜1-3份，氧化锌3-5份，硫酸锌6-8份，硫酸镁1-3份，硫酸银4-9份，硫酸铜3-8份，分子筛2-3份，硅藻土5-12份，硼酸钠3-10份，纳米有机蒙脱土4-10份，滑石粉4-6份，硬脂酸锌4-6份，抗氧剂2-4份，防老剂1份，PH调节剂1-3份。本发明的有益效果是：配方简单、制作容易，其可在半导体加工的化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工，从而达到平坦化的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 制造 环保 抛光 | ||
【主权项】：
一种晶片制造用环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：二氧化氯11‑16份，盐酸2‑4份，氧化铜1‑3份，氧化锌3‑5份，硫酸锌6‑8份，硫酸镁1‑3份，硫酸银4‑9份，硫酸铜3‑8份，分子筛2‑3份，硅藻土5‑12份，硼酸钠3‑10份，纳米有机蒙脱土4‑10份，滑石粉4‑6份，硬脂酸锌4‑6份，抗氧剂2‑4份，防老剂1份，PH调节剂1‑3份。
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