[发明专利]压印装置、压印方法和制造物品的方法

摘要

公开了压印装置、压印方法和制造物品的方法。本发明提供一种把模具的图案转印到基板上的目标区域的压印装置，该压印装置包括控制单元，该控制单元被配置成在与基板的面平行的面方向上对准模具和目标区域，并且驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和目标区域上的压印材料相互接触，其中，在所述接触之前的在所述面方向上的对准中，控制单元基于在促成所述接触的驱动中模具的图案在所述面方向上相对于目标区域的偏移量，使模具和目标区域之间的相对位置偏移，以使得在所述接触之后的相对位置被设定在允许的范围内。

主权项

1.一种在使形成有图案的模具与基板中的多个区域之中的目标区域上的压印材料接触的情况下固化压印材料从而把模具的图案转印到目标区域上的压印材料的压印装置，所述压印装置包括：测量单元，被配置成在与基板的面平行的面方向上测量模具的图案与目标区域之间的相对位置，控制单元，被配置成在模具和压印材料不相互接触的第一状态下，控制在所述面方向上的模具的图案和目标区域之间的对准，然后驱动模具和基板中的至少一个以使得模具和压印材料相互接触，其中，所述控制单元从指示出对于基板中的各区域分别预先设置的第一校正量的第一校正地图获得与目标区域在基板上的位置对应的第一校正量，该第一校正量是用于校正将由使得模具和压印材料相互接触引起的模具的图案在所述面方向上的偏移的量，从指示出对于基板中的各区域分别预先设置的第二校正量的第二校正地图获得与目标区域在基板上的位置对应的第二校正量，该第二校正量是用于校正将被转印到压印材料的模具的图案的位置与由测量单元测得的模具的图案的位置之间的偏移的量，并且基于所获得的第一校正量、所获得的第二校正量和在所述第一状态下的测量单元的测量结果，在所述第一状态下控制在所述面方向上的对准，以使得模具的图案与目标区域之间的相对位置被偏移所获得的第一校正量和所获得的第二校正量。