[发明专利]一种等离子体负载电路自动控制方法

摘要

本发明公开了一种等离子体负载电路自动控制方法，采用微控制器，微控制器通过两路数模转换通道调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值，微控制器还通过两路模数转换通道采集等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，通过多次调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值，可确保等离子体负载电路反射最小，负载吸收的功率最大。

主权项

一种等离子体负载电路自动控制方法，其特征在于：采用微控制器，所述微控制器通过两路彼此独立的数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值，微控制器还通过两路彼此独立的模数转换通道分别采集等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，依次包括以下步骤：（1）、在微控制器中写入等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值的初始值，微控制器通过两路数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值为初始值；（2）、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为初始值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值，同时微控制器通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值；（3）、微控制器通过比较算法，找出步骤（2）中采集到的各个反射功率测量值的最小值，并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为反射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值；（4）、微控制器通过第二路数模转换通道调节等离子体负载电路的入射功率设定值至等离子体负载电路的启动功率值，并延时一段时间；（5）、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为启动功率值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值，同时微控制器再次通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值；（6）、微控制器通过比较算法，找出步骤（5）中采集到的各个反射功率测量值的最小值，并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为此时反射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值；（7）、微控制器通过两路模数转换通道采集此时等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，并判断入射功率测量值与反射功率测量值的差值是否小于预设在微控制器中的额定功率值，如果大于该额定功率值，则延时一段时间后，重新从步骤（5）开始重复过程，如果小于该额定功率值，则微控制器通过第二路数模转换通道调节增大等离子体负载电路的入射功率设定值，直至入射功率测量值与反射功率测量值的差值大于该额定功率值。