[发明专利]均匀气流装置在审
| 申请号： | 201410235427.X | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105148762A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 杨宏超;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01F5/08 | 分类号： | B01F5/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 施浩 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种均匀气流装置，可以提供分散均匀的刻蚀气体。其技术方案为：均匀气流装置包括位于顶部的中心孔、位于中心孔之下的第一筛孔板、以及位于第一筛孔板之下的第二筛孔板，第一筛孔板中的孔径大于第二筛孔板中的孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 气流 装置 | ||
【主权项】：
一种均匀气流装置，包括位于顶部的中心孔、位于中心孔之下的第一筛孔板、以及位于第一筛孔板之下的第二筛孔板，其特征在于，第一筛孔板中的孔径大于第二筛孔板中的孔径。
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- 一种喷淋式流体混合装置，由两条流体进口管、流体进口管喷淋头、混合器、混合器出口管喷淋头、流体出口混合管和扰流网组成，混合器为密封容器，两条流体进口管呈120度角进入混合器，流体进口管喷淋头位于混合器内并使流体呈圆锥形喷射到混合器中，混合器与流体出口混合管相连，混合器出口管设有混合器出口管喷淋头，混合流体通过混合器出口管喷淋头进入流体出口混合管，扰流网为由折返形金属片组成的圆柱体，扰流网固定于流体出口混合管内。本实用新型的优点是：结构简单、安全可靠、使用和维修方便、适用性强。
- 一种喷淋式流体混合装置-201110073271.6
- 贾艳东 - 天津华迈环保设备有限公司
- 2011-03-25 - 2011-09-07 - B01F5/08
- 一种喷淋式流体混合装置，由两条流体进口管、流体进口管喷淋头、混合器、混合器出口管喷淋头、流体出口混合管和扰流网组成，混合器为密封容器，两条流体进口管呈120度角进入混合器，流体进口管喷淋头位于混合器内并使流体呈圆锥形喷射到混合器中，混合器与流体出口混合管相连，混合器出口管设有混合器出口管喷淋头，混合流体通过混合器出口管喷淋头进入流体出口混合管，扰流网为由折返形金属片组成的圆柱体，扰流网固定于流体出口混合管内。本发明的优点是：结构简单、安全可靠、使用和维修方便、适用性强。
- 一种汽液两相流混合器-201020652659.2
- 张辰 - 张辰
- 2010-12-10 - 2011-08-17 - B01F5/08
- 一种汽液两相流混合器，其特征在于：它为双向圆锥结构，分为输入端圆锥、输出端圆锥和置于两者之间的喉管，所述输入端圆锥和输出端圆锥内布置有旋向相反的来福线。该混合器可将气液两相流进一步细颗粒化混合并由喷嘴高速喷出，当汽液两相流经本喷嘴流入时，因喷嘴内表面锥体作用，使两相流加速，同时又因锥面上的来福线的作用而被旋转，当被加速和旋转的两相流进入喷出端时，被凸起的倒锥状来福线强行逆转并扩散，使两相流中的气泡被粉碎，达到细化颗粒，提高溶气率效果，粒径达到1.0μm～1.0μm，气液表面积的增加(30倍)，溶气效率可达到95％～99％。
- 专利分类
