[发明专利]气流计有效

专利信息
申请号: 200510067038.1 申请日: 2005-04-27
公开(公告)号: CN1690664A 公开(公告)日: 2005-11-02
发明(设计)人: 五箇康士;松浦秀纪;北原昇 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: G01F1/68 分类号: G01F1/68
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 蔡胜利
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种用于检测气流量的气流计(1),其具有设置在气体通路(2)中的旁通通路(6)和设置在旁通通路(6)中的传感部(4)。旁通通路(2)具有沿旁通通路(6)中气流方向逐渐减小旁通通路(6)宽度的限制部(8)。限制部(8)包括第一限制部(8a)和设置在第一限制部(8a)的最窄部(B)的紧邻下游侧的第二限制部(8b)。第一限制部(8a)沿气流方向逐渐减小通路宽度。第二限制部(8b)以阶梯方式使通路宽度从最窄部(B)处增大。传感部(4)位于限制部(8)被设置的范围内。
搜索关键词: 气流
【主权项】:
1.用于检测在气体通路(2)中流动的气体的气流量的气流计(1),包括设置在气体通路(2)中的旁通通路(6),并具有:第一限制部(8a),其沿着旁通通路(6)中气流的方向逐渐减小旁通通路(6)的宽度;第二限制部(8b),其设置在所述第一限制部(8a)的最窄部(B)的紧邻下游侧,并且以阶梯方式使通路宽度大于最窄部(B),将气流方向的预定长度上的通路宽度限制为一常量;还包括传感部(4),其布置在第一限制部(8a)和第二限制部(8b)中的至少一个被设置的范围内。
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  • 本发明提供了一种MEMS热式流量传感器。通过在衬底的内部做纵向贯穿衬底的两个流道,在流道中央分别做两个环形电阻环绕流道,流道的两端分别围绕有环形热电堆测量上下游温度。工作时,由于流道上下表面的热电堆关于环形电阻呈对称分布,输出电压相同。流体经过时,改变了热场的对称分布,引起流道上下表面热电堆的输出电压改变,从而可以测量出垂直于衬底方向流过的流体的流量与方向。此外,传感器具有多种工作模式:两个环形电阻可以单独工作,也可以串联工作。对应地,环形热电堆的输出电压既可以单独测量也可以串联后进行测量,实现了单一流道内流体的测量与双流道内流体的同时测量。
  • 电子控制装置以及流量测定系统-202180075616.3
  • 石川广人;铃木邦彦 - 日立安斯泰莫株式会社
  • 2021-09-21 - 2023-07-18 - G01F1/68
  • 本发明的电子控制装置具备:流量运算部,其根据组装在进气管上的流量测定装置的输出信号来运算吸入空气的流量;流量修正值运算部,其运算由该流量运算部运算出的吸入空气的流量的规定期间内的平均值、最大值、最小值、和在流量测定装置的输出信号的基本频率以上并且流量测定装置的输出信号中包含的一个以上的频率的信号的振幅,根据运算结果运算针对吸入空气的流量的修正值;以及流量修正部,其根据修正值修正吸入空气的流量。
  • 一种基于碳化硅pn结测温的高温MEMS热式流量传感器及制备方法-202310287536.5
  • 周再发;张宇 - 东南大学
  • 2023-03-23 - 2023-07-18 - G01F1/684
  • 本发明公开了一种基于碳化硅pn结测温的高温MEMS热式流量传感器及制备方法,该传感器包括衬底,测温pn结,加热电阻,其中,加热电阻位于传感器中间位置,其两侧对称分布着测温pn结。本发明利用碳化硅加工工艺,在衬底上掺杂淀积生成碳化硅材料的加热电阻以及测温pn结。碳化硅作为一种耐高温材料,可以使加热电阻和测温pn结在高温下依然保持良好的工作性能,从而使流量传感器可以在高温下正常工作。
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