[发明专利]一种采用电子束蒸镀技术制备石墨烯导电薄膜的方法及其应用有效
| 申请号： | 201410170876.0 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103924198A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 林杰;陈明亿;王维纲;侯则良 | 申请（专利权）人： | 福建省诺希新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/06;H01M4/1393 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙) 35217 | 代理人： | 刘毅峰 |
| 地址： | 350300 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用电子束蒸镀技术制备石墨烯导电薄膜的方法，包括以下步骤：（1）配置重量百分比浓度为0.01~6%的石墨烯溶液；（2）将步骤（1）中的石墨烯溶液采用电子束蒸镀机在金属电极表面进行蒸镀，形成石墨烯导电薄膜，其中，电子束蒸镀机腔体内的真空度控制在10-7~10-4Pa、基板温度控制在100～500℃，并将此方法应用于石墨烯/硅多层膜复合阳极材料的生产。本发明可制得大面积、片状的、表面平整的石墨烯导电薄膜，并且，所制得的石墨烯薄膜的厚度较薄、堆积密度高、致密，尤其适用于制备高电化学性能的石墨烯/硅多层膜复合阳极材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 电子束 技术 制备 石墨 导电 薄膜 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种采用电子束蒸镀技术制备石墨烯导电薄膜的方法，包括以下步骤：（1）配置重量百分比浓度为0.01~6%的石墨烯溶液；（2）将步骤（1）中的石墨烯溶液采用电子束蒸镀机在金属电极表面进行蒸镀，形成石墨烯导电薄膜，其中，电子束蒸镀机腔体内的真空度控制在10‑7~10‑4Pa、基板温度控制在100～500℃。
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