[发明专利]棱镜光学系统、照明光学系统、曝光设备和装置制造方法有效
| 申请号： | 201410163912.0 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN104122757B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 大阪昇;福冈亮介;吉冈均 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及棱镜光学系统、照明光学系统、曝光设备和装置制造方法。被配置为改变光束的截面形状的棱镜光学系统包括光入射表面、光出射表面以及外侧面。光入射表面包括凹锥面，光出射表面包括凸锥面，并且外侧面包括用于反射从光入射表面进入外侧面的光的反射表面。 | ||
| 搜索关键词： | 棱镜 光学系统 照明 曝光 设备 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于照射待照射面的照明光学系统，所述照明光学系统包括被配置为具有用于改变光束的截面形状的棱镜的光学系统，其中所述棱镜包括光入射表面、光出射表面以及从光入射表面侧延伸到光出射表面侧的外侧面，所述光入射表面包括凹锥面，所述光出射表面包括凸锥面，以及所述外侧面包括用于反射从光入射表面入射到所述外侧面的光的反射表面，其中所述光入射表面包括相对于穿过所述凹锥面的顶点的中心轴布置在所述凹锥面的外侧的第一表面，以及所述光出射表面包括相对于穿过所述凸锥面的顶点的中心轴布置在所述凸锥面的外侧的第二表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410163912.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：反应釜
- 下一篇：催化化学反应装置及用于该装置的供气部件
