[发明专利]用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统

摘要

本发明公开了一种用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统，主要解决现有技术冷却水温高于真空镀膜设备正常工作的安全阈值时将损坏该真空镀膜设备，进入设备的应急用水被白白浪费的问题。本发明包括两个水箱、一个储水罐、水泵、真空镀膜设备、控制水阀、手动电磁阀以及测温报警装置。手动电磁阀将储水罐和水箱连接起来，真空镀膜设备安装测温报警装置并连接电磁阀自动控制整个循环冷却系统，本发明实现了循环水冷却系统的自动控制以及对真空镀膜机的有效保护。本发明可用于实验室中的真空镀膜实验。

主权项

一种用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统，包括两个循环水存储容器一号水箱和二号水箱、储水罐、水流回路管道、水泵、真空镀膜设备、控制水阀、测温报警装置；所述的一号水箱的底端出水管道a依次经过经过水阀（1）、水泵M1、水阀（3）与真空镀膜机(4)进水管道相连，形成真空镀膜机（4）的冷却水进水管路；水泵M1和水阀（3）之间的三通接口直角端经手动电磁水阀（2）与自来水口相连，形成应急进水的进水入口；一号水箱底端出水管道b与二号水箱的底端出水管道c通过一个三通接口直角端与水阀（8）相连，形成排水管路；一号水箱的进水管道f经过水阀（7）、水泵M2和二号水箱的出水管道d相连，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；二号水箱顶端入水管道e经过一个两位三通电磁阀（6）、水阀（5）与真空镀膜机的出水口相连，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路；其特征在于，所述的二号水箱进水管道e和储水罐进水管道g通过两位三通电磁阀(6)相连，形成应急水进水管路；所述的排水管道通过水阀（9）与储水罐的出水管道h连接，形成应急水的排水管路；所述的真空镀膜设备（4）的冷却水出水口处安装一个测温报警装置，该装置分别通过导线与手动电磁阀（2）和两位三通电磁阀（6）相连接。