[发明专利]用于检查芯片组件的外观的装置在审
| 申请号： | 201410102809.5 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104698010A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张玄俊;崔太一 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 鲁恭诚 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种用于检查芯片组件的外观的装置，所述装置包括：反射镜，布置在将被检查的目标对象的侧表面的外侧；照明器，朝向将被检查的目标对象发射光；相机，通过由所述反射镜反射的光来获取将被检查的目标对象的上表面的图像和将被检查的目标对象的侧表面的图像；光程补偿块，布置在所述反射镜的上方并允许光穿过。因此，可在没有畸变的情况下获取将被检查的目标对象的上表面和侧表面的图像，以提高图像的质量，进而可以精确地和高效地检查芯片组件的外观。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 芯片 组件 外观 装置 | ||
【主权项】：
一种用于检查芯片组件的外观的装置，包括：反射镜，布置在将被检查的目标对象的侧表面的外侧；照明器，朝向将被检查的目标对象发射光；相机，通过由所述反射镜反射的光来获取将被检查的目标对象的上表面的图像和将被检查的目标对象的侧表面的图像；光程补偿块，布置在所述反射镜的上方并允许光穿过。
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