[发明专利]一种具有多级结构的研磨抛光盘

摘要

本发明涉及一种具有多级结构的研磨抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研抛加工，它包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，工件安装轴装在滑台上；研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，挡板将研磨抛光盘从内到外分成多个环形区域，磨料涂覆于环形区域内，环形区域内磨料的粒度由外至内逐渐增加。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件进行不同程度的加工；在加工的过程中利用无摩擦气缸给工件施加恒定的向下的力，根据工件不同的加工阶段自动调节施加的压力，提高了工件加工质量并且减少了人为因素对加工质量的影响。

主权项

一种具有多级结构的研磨抛光盘，包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴、转动装置、无摩擦气缸和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，滑台上设有安装孔，工件安装轴穿过安装孔，研磨抛光盘的底部连接转动装置，其特征在于：所述研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，所述所有挡板均与研磨抛光盘同轴心，所述挡板固定在研磨抛光盘上，所述挡板由内到外半径逐渐增加，所述挡板将研磨抛光盘从内到外分成多个环形区域，所述磨料涂覆于环形区域内，所述环形区域内磨料的粒度由外至内逐渐增加；所述每个挡板上均设有开关门；所述工件安装轴的底部通过轴承连接叶轮，叶轮底部连接工件安装头；所述工件安装轴的顶端连接无摩擦气缸的气缸塞，气缸塞套装在无摩擦气缸内；所述无摩擦气缸固定在滑台上；所述滑台连接水平放置的滚珠丝杠和直线导轨，所述滚珠丝杠和直线导轨平行放置，滚珠丝杠的一端连接驱动装置，滑台在滚珠丝杠和直线导轨的作用下水平移动；所述滑台上装有喷液管，喷液管的喷液嘴正对叶轮的叶片，喷液管喷出的冷却液带动叶轮转动同时对工件冷却；所述研磨抛光盘表面布设有用于流通冷却液的导流槽，所述导流槽通过开关门相互连通。