[发明专利]真空成膜装置用防附着板及其应用无效
| 申请号： | 201410072392.2 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104032259A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黑冈俊次 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;C25D11/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供在反复蒸镀的情况下成膜材料的剥离防止效果也优异的真空成膜装置用防附着板及其制造方法、以及使用该防附着板的真空成膜装置及真空成膜方法。本发明的真空成膜装置用防附着板是用于防止成膜材料向真空成膜装置中的不需要的位置附着的防附着板，其为铝制，具有形成有包含平均开口径为0.01～9μm的凹部的凹凸结构的表面，在表面排列有平均高度为30～1000μm的多个突出部，突出部的平均密度为10个／10mm见方以上，突出部的底部面积的比率为在10mm见方的区域中超过90％。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 附着 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种真空成膜装置用防附着板，其用于防止成膜材料向真空成膜装置中的不需要的位置附着，其中，该真空成膜装置用防附着板为铝制，具有形成有包含平均开口径为0.01～9μm的凹部的凹凸结构的表面，在所述表面排列有平均高度为30～1000μm的多个突出部，所述突出部的平均密度为10个／10mm见方以上，所述突出部的底部面积的比率为在10mm见方的区域中超过90％。
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