[发明专利]一种测量全元素的X射线谱仪

摘要

本发明涉及一种测量全元素的X射线谱仪，所述X射线谱仪包括：点光源X射线管和高压电源，毛细管X光透镜，五维样品移动台，电子枪发出的电子束，光学显微镜，毛细管X光半透镜，半导体X射线探测器和电子学系统和真空腔体；采用低电压电子束5‑10kv和毛细管X管透镜聚焦的微束X射线束组成的双激发源，元素特征X射线被半透镜过滤后，再进入X射线探测器，产生的信号经过前置放大器、主放大器和多道分析器等电子学系统处理后，显示并存储在计算机中，解决了既能进行高精度的元素含量测定，同时实现全元素的测量分析。

主权项

一种测量全元素的X射线谱仪，其特征在于，所述X射线谱仪包括：点光源X射线管和高压电源(1)，毛细管X光透镜(2)，五维样品移动台(3)，电子枪发出的电子束(4)，光学显微镜(5)，毛细管X光半透镜(6)，半导体X射线探测器和电子学系统(7)和真空腔体(8)；其中，点光源X射线管和高压电源(1)，光学显微镜(5)和半导体X射线探测器和电子学系统(7)固定在真空腔体的外壁上；毛细管X光透镜(2)，五维样品移动台(3)，电子枪发出的电子束(4)和毛细管X光半透镜(6)设置在真空腔体(8)的内部；所述点光源X射线管和高压电源(1)位于五维样品移动台(3)的左侧的斜上方，所述点光源X射线管与水平面成45度角，发出的X射线通过毛细管X光透镜(2)以45度的角度照射在所述五维移动平台(3)上的待探测样品上；所述电子束(4)为5‑10kV低压电子束，垂直照射在样品上的微区上；所述毛细管X光半透镜(6)与水平面成38°的角度接受样品中元素激发出的特征X射线，其位于半导体X射线探测器和电子学系统(7)的前端，并且毛细管X光半透镜(6)的小直径端对准所述样品待探测的微区域(9)，大直径端对准半导体X射线探测器和电子学系统(7)，X射线以满足在空心玻璃管内壁发射全反射的角度从毛细管X光半透镜(6)的小直径端进入空心玻璃管，在空心玻璃管的光滑内壁全反射的方式在毛细玻璃管的内部进行传输；所述半导体X射线探测器和电子学系统(7)接收所述毛细管X光半透镜(6)过滤后的X射线，产生的信号经过电子学系统处理后，显示并存储在计算机中；计算机控制所述五维样品移动平台(3)可以移动或转动样品，以便于快速找到被测微区域，并且使得所述样品的位置位于光学显微镜(5)聚焦点中心的位置；所述高压电源为40‑50kV；所述毛细管X光透镜(2)将从X射线管出来的X射线汇聚成直径在30‑100微米左右的焦斑；所述电子束(4)的焦斑直径为10微米；所述电子学系统包括前置放大器、主放大器和多道分析器。