[发明专利]一种纳米级的铝刻蚀方法有效
| 申请号： | 201410048607.7 | 申请日： | 2014-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN103789768A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 徐丽华;董凤良;苗霈;宋志伟;闫兰琴;褚卫国 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12;G02B5/18;B82Y40/00;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;侯桂丽 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种纳米级的铝刻蚀方法。所述方法包括采用利用0℃以下的低温控制工艺的刻蚀工艺，及清洗工艺。本发明采用的低温刻蚀工艺，能有效地控制反应速率，并且能稳定地控制铝的纳米级关键尺寸、刻蚀深度及侧壁垂直度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米级的铝刻蚀方法，其特征在于，包括采用利用0℃以下的低温控制工艺的刻蚀工艺，及清洗工艺。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家纳米科学中心，未经国家纳米科学中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410048607.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：等离子体处理方法
- 下一篇：一种钢纤维的腐蚀防护方法
