[发明专利]研磨方法在审
| 申请号： | 201410043731.4 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103962918A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 户川哲二;吉田笃史;渡边敏史 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/00 | 分类号： | B24B21/00;B24B21/18 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种研磨方法，使基板(W)旋转，按压第1研磨件(3A)使其与基板(W)的边缘部接触而对该边缘部进行研磨，按压第2研磨件(3B)使其与边缘部接触而对该边缘部进行研磨，所述第2研磨件在基板(W)的径向配置在第1研磨件(3A)的内侧，第1研磨件(3A)具有比第2研磨件(3B)粗的研磨面。采用本发明，可提高研磨速率，且可在基板的边缘部上形成平滑的垂直面。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨方法，其特征在于，包含这样的工序：使基板旋转，将第1研磨件按压到所述基板的边缘部，从而对该边缘部进行研磨，将第2研磨件按压到所述边缘部，从而对该边缘部进行研磨，所述第2研磨件在所述基板的径向上配置在所述第1研磨件的内侧，所述第1研磨件具有比所述第2研磨件粗的研磨面。
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