[发明专利]螺旋形磁控管及磁控溅射设备

摘要

本发明涉及一种螺旋形磁控管及磁控溅射设备，螺旋形磁控管包括极性相反的分别由多条螺旋线组成的内磁极和外磁极；内磁极螺旋线的螺旋中心围绕在内磁极内部；外磁极的螺旋中心与内磁极的螺旋中心相同，外磁极螺旋线与内磁极螺旋线从螺旋中心向外周螺旋离散；外磁极逐层包围内磁极；离螺旋中心最远的内磁极螺旋线与相邻的内磁极螺旋线在末端合并，合并末端沿离所述螺旋中心最远的内磁极螺旋线的轨迹延伸；离螺旋中心最远的外磁极螺旋线包围所述合并末端，离螺旋中心最远的外磁极螺旋线的末端与相邻外磁极螺旋线之间圆弧连接；相邻内磁极螺旋线圆滑封闭连接，相邻外磁极螺旋线圆滑封闭连接；内磁极、外磁极螺旋线依方程分布，实现溅射沉积均匀。

主权项

一种螺旋形磁控管，包括内磁极和外磁极，其特征在于，所述内磁极和所述外磁极的极性相反；所述内磁极和所述外磁极均由三条螺旋线组成，所述内磁极的三条螺旋线分别为第一内磁极螺旋线、第二内磁极螺旋线和第三内磁极螺旋线，所述外磁极的三条螺旋线分别为第一外磁极螺旋线、第二外磁极螺旋线和第三外磁极螺旋线；所述内磁极螺旋线的螺旋中心围绕在所述第三内磁极螺旋线的内部；所述外磁极螺旋线的螺旋中心围绕在所述第一外磁极螺旋线的内部,所述外磁极螺旋线的螺旋中心与所述内磁极螺旋线的螺旋中心相同；所述外磁极螺旋线与所述内磁极螺旋线均从所述螺旋中心向外周螺旋离散，所述外磁极的螺旋线逐层包围所述内磁极的螺旋线；离所述螺旋中心最远的所述第二内磁极螺旋线与相邻的所述第三内磁极螺旋线在末端合并，合并末端沿离所述螺旋中心最远的所述第二内磁极螺旋线的轨迹延伸；相邻的所述第三内磁极螺旋线首端与所述第一内磁极螺旋线首端圆滑连接，相邻的所述第一内磁极螺旋线末端与所述第二内磁极螺旋线首端之间圆滑连接，所述第一内磁极螺旋线、所述第二内磁极螺旋线及所述第三内磁极螺旋线之间形成封闭环；离所述螺旋中心最远的所述第二外磁极螺旋线包围所述第二内磁极螺旋线和所述第三内磁极螺旋线的合并末端，离所述螺旋中心最远的所述第二外磁极螺旋线的末端与相邻的所述第三外磁极螺旋线末端之间以圆弧连接；相邻的所述第一外磁极螺旋线首端与所述第三外磁极螺旋线首端圆滑连接，所述第一外磁极螺旋线和所述第三外磁极螺旋线之间具有开放间隙，相邻的所述第一外磁极螺旋线末端与所述第二外磁极螺旋线首端圆滑连接，所述第一外磁极螺旋线、所述第二外磁极螺旋线和所述第三外磁极螺旋线形成封闭环；三条所述内磁极螺旋线、三条所述外磁极螺旋线分别依螺旋线方程分布。