[发明专利]用于电子显微镜的样品载体有效
申请号: | 201410016917.0 | 申请日: | 2014-01-15 |
公开(公告)号: | CN103928279A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | F.内德洛夫 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N1/44 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 胡莉莉 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了用于电子显微镜的样品载体。本发明涉及用于透射电子显微镜的样品载体(10)。当使用现有技术样品载体时,比如与检测器检测例如以大发射角发射的X射线相组合的半月形格子时,遮蔽是个问题。当执行其中样品在大角度内旋转的断层摄影时出现类似问题。本发明通过将毗连样品与格子之间的接口的格子部分(16)形成为锥形部分来提供针对遮蔽的技术方案。 | ||
搜索关键词: | 用于 电子显微镜 样品 载体 | ||
【主权项】:
一种用于在电子显微镜中承载样品(18)的样品载体(10),所述样品载体包括金属箔(12),所述样品载体包括毗连金属箔的侧边以便将样品(18)附连到那里的至少一个安装位置,其特征在于,所述安装位置毗连样品载体中金属箔厚度被减小的部分。
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