[发明专利]用于电子显微镜的样品载体有效

专利信息
申请号: 201410016917.0 申请日: 2014-01-15
公开(公告)号: CN103928279A 公开(公告)日: 2014-07-16
发明(设计)人: F.内德洛夫 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;G01N1/44
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 胡莉莉
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了用于电子显微镜的样品载体。本发明涉及用于透射电子显微镜的样品载体(10)。当使用现有技术样品载体时,比如与检测器检测例如以大发射角发射的X射线相组合的半月形格子时,遮蔽是个问题。当执行其中样品在大角度内旋转的断层摄影时出现类似问题。本发明通过将毗连样品与格子之间的接口的格子部分(16)形成为锥形部分来提供针对遮蔽的技术方案。
搜索关键词: 用于 电子显微镜 样品 载体
【主权项】:
一种用于在电子显微镜中承载样品(18)的样品载体(10),所述样品载体包括金属箔(12),所述样品载体包括毗连金属箔的侧边以便将样品(18)附连到那里的至少一个安装位置,其特征在于,所述安装位置毗连样品载体中金属箔厚度被减小的部分。
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