[发明专利]用于硅晶片的可印刷的扩散阻挡层有效
申请号: | 201380067930.2 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN104903497B | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | I·科勒;O·多尔;S·巴斯 | 申请(专利权)人: | 默克专利股份有限公司 |
主分类号: | C30B31/18 | 分类号: | C30B31/18;C23C18/12;H01L31/0216;H01L31/0236;C08G77/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈晰 |
地址: | 德国达*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及制备可印刷的高粘度的氧化物介质的方法,以及所述氧化物介质在制造太阳能电池中的用途。 | ||
搜索关键词: | 用于 晶片 可印刷 扩散 阻挡 | ||
【主权项】:
1.制备可印刷的高粘度氧化物介质的方法,其特征在于通过使a.对称和/或不对称的二‑至四取代的烷氧基硅烷和烷氧基烷基硅烷,其中所使用的对称和/或不对称的二‑至四取代的烷氧基硅烷和烷氧基烷基硅烷包含单个饱和或不饱和、支链或非支链的脂肪族、脂环族或芳香族基团或包含其中的不同基团,所述烷氧基硅烷和烷氧基烷基硅烷可以在烷氧基基团或烷基基团的任何位置通过选自O、N、S、Cl、Br的杂原子官能化,与b.强羧酸,所使用的强羧酸是来自甲酸、乙酸、草酸、三氟乙酸、单‑、二‑和三氯乙酸、乙醛酸、酒石酸、马来酸、丙二酸、丙酮酸、苹果酸、2‑氧代戊二酸的酸,在90℃或140℃下缩合进行基于无水溶胶‑凝胶的合成并且通过受控凝胶化制备糊状的高粘度介质,可印刷的氧化物介质通过使用铝、锗、锌、锡、钛、锆或铅的醇盐/酯、乙酸盐、氢氧化物或氧化物以及其混合物基于混杂溶胶和/或凝胶制备。
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