[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法

摘要

步骤(18)包括：将托架和玻璃基板配置在平台上的步骤；第1滑动步骤，使用太阳齿轮和内啮合齿轮，使托架旋转而对玻璃基板的表面进行研磨；将托架和其它玻璃基板配置在平台上的步骤；第2滑动步骤，使用太阳齿轮和内啮合齿轮，使托架旋转而对其它玻璃基板的表面进行研磨；以及变更步骤，该变更步骤在第1滑动步骤之后且在第2滑动步骤之前执行，使第2滑动步骤中托架与太阳齿轮的齿面将啮合的位置的太阳齿轮的齿面内的高度与第1滑动步骤中托架与太阳齿轮的齿面已啮合的位置的太阳齿轮的齿面内的高度不同。

主权项

一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：第1设置步骤，将研磨用的托架和玻璃基板配置在双面研磨机的平台上；第1滑动步骤，在使所述托架的外周与太阳齿轮和内啮合齿轮这两者的齿面啮合的状态下，使用所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮使所述托架旋转，使所述玻璃基板相对于研磨垫的研磨面滑动接触，对所述玻璃基板的表面进行研磨；第2设置步骤，将所述托架和其它托架中的一个托架以及其它玻璃基板配置在所述双面研磨机的所述平台上；第2滑动步骤，在使所述一个托架的外周与所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮这两者的齿面啮合的状态下，使用所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮使所述一个托架旋转，使所述其它玻璃基板相对于所述研磨垫的所述研磨面滑动接触，对所述其它玻璃基板的表面进行研磨；以及高度变更步骤，该高度变更步骤在所述第1滑动步骤之后且在所述第2滑动步骤之前执行，在该高度变更步骤中，在将相对于所述太阳齿轮的轴向平行的方向的位置称作高度的情况下，若将所述太阳齿轮的齿面中的在所述第1滑动步骤中所述托架已啮合的部分作为第1位置，将所述太阳齿轮的齿面中的在所述第2滑动步骤中所述一个托架将啮合的部分作为第2位置，将所述内啮合齿轮的齿面中的在所述第1滑动步骤中所述托架已啮合的部分作为第3位置，将所述内啮合齿轮的齿面中的在所述第2滑动步骤中所述一个托架将啮合的部分作为第4位置，则至少具有下述两点中的任意一点：使所述太阳齿轮的齿面内的所述第2位置的高度方向的位置与所述第1位置不同；以及使所述内啮合齿轮的齿面内的所述第4位置的高度方向的位置与所述第3位置不同。