[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201380052989.4 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN104737280B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 平井大博;中垣亮;小原健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;郝庆芬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种具备观察试样上的缺陷的缺陷观察装置的带电粒子束装置，具备：控制部、以及显示部，所述控制部在多个修正条件下针对利用所述缺陷观察装置取得的一张以上图像执行漂移修正处理，并使所述多个修正条件与执行了所述漂移修正处理的多个修正图像对应，作为第1画面显示在所述显示部中。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其具备观察试样上的缺陷的缺陷观察装置，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：控制部、以及显示部，所述控制部从所述缺陷观察装置取得待被集成的多张帧图像，针对利用所述缺陷观察装置取得的所述多张帧图像当中的一张以上的帧图像，以多个修正条件执行漂移修正处理，生成具有在执行所述漂移修正处理时具有不同数目的帧图像的多个帧累积图像，并且在所述显示部中彼此相关联地显示(i)未执行漂移修正处理的帧累积图像和经过漂移修正处理后的帧累积图像、以及(ii)对于所述多个帧累积图像中的每个帧累积图像而言帧的数目以及图像处理所需的时间，作为第1画面，并且基于由用户选择的多个修正图像来设定所述多个修正条件中的一个修正条件，其中，所述图像处理所需的时间基于所述帧的数目而不同。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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